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BTF-1200C-S-PECVD微型PECVD系统
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BTF-1200C-SL-PECVD单温区滑轨式PECVD系统
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BTF-1200C-III-SL-PECVD三温区滑轨式PECVD系统
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双炉滑轨PECVD
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前端预热滑轨PECVD
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