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智能型滑轨式CVD系统
参考价:

型号:BTF-1200C-SL-L-CVD

更新时间:2024-02-21  |  阅读:215

详情介绍

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BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑轨式CVD系统。该设备主要分为五大部分:加热系统,真空系统,气体控制供给系统,自动控制移动系统,控制软件系统组成。炉膛为440mm温区炉膛,配K型热电偶,单点控温;加热炉置于滑轨上,可手动在规定的范围内任意滑动到想要的位置并用限位器固定住;气路系统采用4路流量计控制,经由不锈钢混气罐混合,再进入左端进气法兰;左端法兰端盖上预留1路进气口,内部有不锈钢导气管,可将气体导入加热区位置。该设备适用于高校研究所以及研发型企业使用。


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额定功率

3KW(加热炉膛)

额定电压

220V  50/60Hz

最高温度

1200℃

持续工作温度

≤1100℃

推荐升温速率

≤10℃/min

加热区长度

440mm

热电偶

K型热电偶

控温方式

10寸触液晶屏触摸控制,模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

炉体尺寸

220*750*1450mm(长*宽*高)

设备净重

300KG

炉管尺寸

高纯石英管Φ100*1650mm

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