加热功率

5KW

额定电压

AC200V Single Phase,50/60Hz

最高温度

1200℃

持续工作温度

≤1100℃

炉管尺寸

高纯度石英管ɸ150mm

加热区长度

400mm

最快升温速率

≤30℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

法兰结构

材质

316L，水冷法兰

进气结构

每个炉子配有独立的φ6mm卡套进气口，机械式压力表及精密截止阀

排气结构

每个炉子配有独立的φ9.2mm排气口和球阀

拓展口

此款设备预留KF25抽气口和KF16真空计连接口，可连接真空系统，本底真空可达到0.5pa

温控系统

人机界面加PLC控制，10寸触摸屏操作，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，执行模糊型PID控制

无纸记录：内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据

30段程序控温

3路供气系统（选配）

根据工艺需求选择一种或者3种气体混合配比进气

气体种类与量程大小可选

真空系统（选配）

可选用真空组件与设备匹配抽真空

抽气速率：24m³/h

接口尺寸：KF25

安全保护

本设备自带超温和断偶报警

如实验工况为常压可选配加装安全阀，防止管内出现过高正压造成石英管爆裂

质保

主机质保1年，终身维护

本设备到货后可联系我司派遣专业售后人员上门安装调试与培训

特别提示：

⑴ 耗材部分如石英件、热电偶、密封圈等不在保修范围内

⑵ 因工艺问题（如使用腐蚀性气体或强酸强碱类物质）造成的损害不在保修范围内

注意事项

石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa

如实验为常压工况，右端法兰泄压阀建议常开。以防管内形成过高正压（如炉管破裂，法兰飞出等）