反应舱规格

Φ165*L210mm（石英材质）

反应舱有效容积

4.5L

输入电源

220V/50HZ

整机输入功率

150W

射频功率

0-150W（连续可调）

射频频率

13.56MHz

常用工作气体

空气、氩气、氮气或混合气体等

整机规格

500*250*300mm(长*宽*高）

整机重量

25KG

射频电源参数

信号频率

13.56MHz+/-0.005%

功率输出范围

5W-150W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50Ω，N-type,female

功率稳定度

+/-0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V）频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷