供气系统的主要特点：该（1路质子 2路浮子）是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 本配比器适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观，实用，操作简便。流量显示准确，可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

   供气系统的技术参数