细节描述

　　1)法兰

　　冷却方式：内水冷循环铠装法兰(配合合金钢耐压管)

　　密封方式：贝意克卡箍法兰

　　2)电阻丝长度，即加热区长度

　　3)恒温区长度

　　4)滑轨长度，即可移动范围

　　5)面板

　　选配方案推荐

　　1、泵体：

　　如果真空度要求不高，1pa左右，可选配机械泵，如国产鲍斯的BSV-10，进口爱德华的RV8.

　　如果真空度要求较高，10-4pa，可选配分子泵系统，包括前级机械泵和后级分子泵。分子泵有国产中科科仪的FF110，进口爱德华的nEXT85。

　　2、气体流量

　　如果只需要粗略控制进气量，可选配浮子流量计，量程是范围内的ml/min，如10-100ml/min，量程可选。

　　如果需要精确控制进气量，可选配质量流量计，量程一般是sccm，如200sccm，量程可选。