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流化床CVD系统
参考价:

型号:BTF-1200C-LH-CVD

更新时间:2019-11-06  |  阅读:1788

详情介绍

设备简介:

流化床—化学气相沉积法可控及批量制备碳纳米管设备,该设备包括有:自动加液装置、超声波雾化发生装置、气体供应装置、气体流量控制装置、三温区流化床反应器及加热装置、旋风分离器、固体收集装置、净化处理装置。气体供应装置出气口在经过气体流量控制装置后与超声波雾化装置进气口相连接,自动加液装置出液口与超声波雾化发生装置进液口相连接,通过雾化装置内部的液体控制装置来控制加液。超声波雾化装置的出口与三温区流化床反应器的进料口相连接,反应器的出料口通过透明管与旋风分离器相连接,旋风分离器上面的气体出口与净化处理装置相连接,下面的固体捕集出口与固体收集器相连接。经过旋风分离器后,大量的气体向上通过净化装置后排向大气,而固体则捕集到固体收集装置中。碳纳米管生长难控制的就是气场和流场温度差异相互影响,由于变量太多,无法确保生长的碳纳米管形态*,从而质量质量非常低,本方案完*气场和流场及温度变量的相互影响。

本方案通过流量计和静态混气室把气体均匀混拌,通过上通气,气体通过双层管(夹层管预热气体,内腔体生长碳纳米管)确保通入的气体进入生长腔体内温度一直,通过多空陶瓷网的结构设计,从而解决均匀进气的问题。使的生长腔体热场流场稳定,确保得到高质量重复性好的碳纳米管。(另配一台加热雾化装置,一个氢气报警器)

1、炉管材质:高纯石英管

 

2、炉管尺寸:OD: 80 mm (外管),OD 50mm(内管)

 

3、加热元件:康奈尔电阻丝

 

4、工作温度:连续工作温度:≤1100℃

 

5、温控系统:30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为7"液晶触摸屏控制

 

6、控温精度:±1℃

 

7、加热区长度:600mm

 

8、恒温区长度:400mm

 

 

 

供气系统

内部装有3路高精度质量流量计可准确的控制气体流量;设静态混气室,有助于气体充分混合,按要求配比。

工作电压:185~245V 50HZ

大输出功率:18W

流量计标准量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊以氮气标定,量程可选)

工作温度:5~45℃

工作压差:0.1~0.5MPa

大压力:3MPa

准确度:±1.5% FS

测量范围:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

针阀:316不锈钢

混气罐:Φ80×120mm

截止阀:Φ6mm”316不锈钢针阀

尺寸:600×600×650 mm

 

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