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高温立式管式炉是由哪些部件构成的?
时间:2022-08-10      阅读:99
  近年来,随着仪器行业的不断发展,高温立式管式炉在市场上得到了快速地发展。由于其突出的表现,受到了广泛用户的青睐。目前本产品可以广泛地应用于纳米电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域,下面我们就来具体的了解一下这款仪器!
 
  高温立式管式炉与普通设备完整不同。此外,由于直接着火,任何走漏都可能招致爆炸或火灾,这也是非消防设备无法比较的。 加热式管式炉的炉管壁温为400-650℃,加热反响式管式炉(氢转化炉)的壁温常常在850-1000℃的范围内。高温炉圈接受低工作压力,如蒸馏炉,普通1-3mpa,高压加氢炉,高达18-20mpa。
 
  高温立式管式炉主要由高温腔体、石英管、石英支架、气路系统、分子泵机组、自动化控制系统、冷却系统等组成。
 
  1、沉底材料可采用铜箔、石墨等;
 
  2、生长腔体采用进口高纯石英管,配石英支架、为石墨烯等材料的生长提供洁净环境;
 
  3、炉膛采用进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。加热丝采用优质掺钼铁铬铝合金加热丝,温场均匀,能耗低;
 
  4、密封法兰均采用不锈钢材质,配水冷套,可连续长时间工作;
 
  5、气路系统采用两路质量流量计(可拓展多路),配预混系统;
 
  6、气体种类: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;
 
  7、温度、气体、真空、冷却水等通过PLC控制,通过PC实时控制和显示相关的实验参数,自动保存实验参数,也可采用手动控制;
 
  8、系统采用集成化设计,控制系统、混气罐、质量流量计等均内置在箱体内部,占地面积小。整体安装四个可移动轮子,方便整体移动。
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